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多功能扫描电镜

蔡司的EVO系列扫描电镜广泛应用于材料和生命科学领域,能够为您提供更高分辨率的图像和更丰富的组织细节。
在低电压下,借助电子束减速和高分辨背散射电子成像技术获取出色的样品形貌细节。您还可以在可变环境条件下实时观察材料的相互作用。
借助自动化工作流程实现高效应用。EVO 的 X 射线几何学设计能确保在分析工作条件下达到最佳分辨率。
数量:
  • EVO 25
  • 森沃斯

EVO 25

多功能扫描电镜大样品室

  EVO 25扫描电镜是针对于半导体行业所推出的能够适合处理大而高样品的电镜方案。EVO 25的大样品室可轻松容纳高度超过200mm的样品,自动化的5轴样品台也可以更大范围的移动,具有高低真空模式,EVO 25对大的样品提供了完善的视觉解决方案。

技术参数

分辨率:3.0nm@30KV(SE and W)4.0nm@30KV(VP with BSD) 

加速电压:0.2—30KV(10V步进)

放大倍数:5—1000000x 探针电流:0.5PA-5μA

X-射线分析工作距离:8.5mm   

35度接收角样品室:420mm( ø)×330mm(h)

样品台:5轴优中心自动 具有防撞功能

X=130mm  Y=130mm  Z=50mm   T= -10°~90° R=360°(连续)

最大试样高度:210mm  最大试样直径:300mm 

系统控制:基于Windows 10 的SmartSEM操作系统存储分辨率为32,000 x 24,000 pixels


多功能扫描电镜

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