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非接触粗糙度轮廓仪

白光干涉微观形貌及粗糙度仪设计用于高精度微观形貌分析及高精度粗糙度测量的应用。
3D基本参数(Sa, Sq, St, Smr, ...)
表面校平、镜像、旋转
空间滤波器、填充非测量点、设置阈值、修
描表面点
除去形状、标准滤波器
提取感兴趣区域、提取轮廓
重采样
3D视图、伪色视图、照片模拟
水平距离和高度测量、阶跃高度测量
顶点计数分布、孔和顶点体积测量
频率分析(平均功率谱密度)
功能分析(Abbott曲线、切片)
公差极限(合格/不合格)显示
数量:

粗糙度仪

仪器技术参数

 

Compact WLI


测量技术

白光干涉

算法

垂直扫描结合相移

扫描器

精密压电陶瓷驱动, 闭环反馈电容控制精密压电陶瓷

扫描范围

400 µm

扫描速度

150 µm/s

系统软件

smartVIS 3D / Speedytec on GPU

分析软件

Trimos Nanoware Analyse

测量阵列

1936 x 1216 测量点

传感器重量

2 kg

供电要求

100 to 240 VAC, 50/60 Hz

 

镜头技术参数

 

技术参数

WLI 2.5x

WLI 5x

WLI 10x

WLI 20x

WLI 50x

WLI 100x

垂直分辨率

0.1 nm

0.1 nm

0.1 nm

0.1 nm

0.1 nm

0.1 nm

横向分辨率 (X/Y)

4.81 µm

4.81 µm

1.2 µm

0.9 µm

0.66 µm

0.52 µm

垂直测量范围

400 µm

400 µm

400 µm

400 µm

400 µm

400 µm

测量面积 XY

~4536 µm

 x

~3447 µm

~2268 µm

 x

~1723 µm

~1134 µm

 x

~861 µm

~567 µm

 x

~430 µm

~226 µm

x

 ~172 µm

~113 µm

 x

 ~86 µm

放大倍数

2.5x

5x

10x

20x

50x

100x

工作距离

~10.3 mm

~9.3 mm

~7.4 mm

~4.7 mm

~3.4 mm

~3.4 mm

最小可测Ra 

NA

NA

< 80 nm

< 20 nm

< 5 nm

< 5 nm

 

工作台技术参数

 

选配工作台


标准

手动XY工作台 73 x 55 mm²

手动Z轴调节,粗调范围70 mm, 精调范围1.9 mm, 倾斜调整+/-3°

自动Z轴扫描,扫描范围400 µm

手动

手动XY工作台25 x 25 mm²

手动Z轴调节,粗调范围70 mm, 精调范围1.9 mm, 倾斜调整+/-3°

自动Z轴扫描,扫描范围400 µm

电动

电动XY工作台 75 x 50 mm²,自动拼接

手动Z调节,粗调范围70 mm, 精调范围1.9 mm, 倾斜调整+/-3°

自动Z轴扫描,扫描范围400 µm


分析软件

 

Nanoware 2.0分析软件

 

根据不同的应用需求,Nanoware分析软件有不同版本及模块可供选择:

一共有5种软件版本:

 

2DLTXT

3DSTTXTTPRO

 

各版本软件可选的软件模块:

 

LT:轮廓模块、统计模块

XT:轮廓模块、轮廓模块、统计模块

STT:轮廓模块、统计模块

XTT:轮廓模块、轮廓模块、统计模块

PRO:轮廓模块、统计模块

 

 

可导出的2D3D文件格式:

 

2D.PRO\.PRF\.PIP\.UA2\.TXT\.SMD

3D.SUR\.UA3\.TXT\.SDF\.STL

 

 

Trimos® NanoWare LT

2轴测量基本模块包含2D轮廓和粗糙度分析的基

本功能,符合ISO 4287标准。

 

2D轮廓和粗糙度 (Ra, Rz,...)

轮廓校平、镜像

除去形状、微粗糙度滤波、标准滤波

提取感兴趣的轮廓区域

粗度和波度分离

水平距离和高度测量

孔和顶点面积测量

公差极限(合格/不合格)显示

 

Trimos® NanoWare XT

2轴测量基本模块 包含2D轮廓和粗糙度分析的基

本功能,符合ISO 4287标准。

 

2D轮廓和粗糙度 (Ra, Rz,...)

轮廓校平、镜像

除去形状、微粗糙度滤波、标准滤波、

形态滤波

提取感兴趣的轮廓区域

粗度和波度分离

水平距离和高度测量、阶跃高度测量

孔和顶点面积测量、分形分析

公差极限(合格/不合格)显示

填充非测量点、设置阈值、轮廓修描

轮廓合并、创建系列轮廓

重采样

轮廓相减、轮廓自相关、两个轮廓相互关联

频率分析(频谱图和平均功率谱密度)

功能分析(Abbott曲线、Rk参数、Rk轮廓)

 

 

 

Trimos® NanoWare STT

3轴测量基本模块. 包含分析轮廓的所有功能及

符合ISO 25178表面分析

 

3D基本参数(Sa, Sq, St, Smr, ...)

表面校平、镜像、旋转

空间滤波器、填充非测量点、设置阈值、修

描表面点

除去形状、标准滤波器

提取感兴趣区域、提取轮廓

重采样

3D视图、伪色视图、照片模拟

水平距离和高度测量、阶跃高度测量

顶点计数分布、孔和顶点体积测量

频率分析(平均功率谱密度)

功能分析(Abbott曲线、切片)

公差极限(合格/不合格)显示

 

 

Trimos® NanoWare XTT

适合于表面结构功能性及分析需求. 此模块覆盖

STT版本并包含XT模块所有2D分析功能

3D基本参数(Sa, Sq, St, Smr, ...)

表面校平、逐行校平、镜像、旋转

空间滤波器、填充非测量点、设置阈值、修

描表面点

除去形状、标准滤波器、过滤频谱、设置频

谱阈值、傅里叶变换、形态滤波

提取区域、提取轮廓、转换成系列轮廓

拼接

重采样

两个表面相减、表面自关联运算、两个表面

相互关联运算

3D视图、伪色视图、照片模拟、等高线

水平距离和高度测量、阶跃高度测量

岛屿分析、顶点计数分布、分形分析、孔和

顶点体积测量

频率分析(纹理方向、频谱、平均功率谱密

度、纹理均质性)

功能分析(Abbott曲线、Sk参数、体积参

数、切片)

公差极限(合格/不合格)显示

 

 

 

Trimos® NanoWare PRO

市场上2D及3D表面特征评估完整版本. 此模块

综合了表面测量领域15年以来的经验, 是专业用

户不二选择

 

3D基本参数(Sa, Sq, St, Smr, ...)

表面校平、逐行校平、分区校平、镜像、旋转

空间滤波器、填充非测量点、设置阈值、纠正

行、修描表面点、反褶积

除去形状、标准滤波器、过滤频谱、设置频谱

阈值、傅里叶变换、子波转换、形态滤波

提取感兴趣区域、提取轮廓、二进制遮罩

转换成系列轮廓、二进制阈值设置、二进制分割

拼接

重采样

两个表面相减、表面自关联运算、两个表面相互

关联运算

3D视图、伪色视图、照片模拟、等高线

水平距离和高度测量、阶跃高度测量

表面图形分析(ISO 25178检测算法)、微波

谷网络相关参数分析、岛屿分析、顶点计数分

布、分形分析、孔和顶点体积测量、单个波谷

深度测量

频率分析(纹理方向、频谱、平均功率谱密度、

纹理均质性)

功能分析(Abbott曲线、Sk参数、体积参数、

切片)

公差极限(合格/不合格)显示

非接触粗糙度仪4非接触粗糙度仪5非接触粗糙度仪6

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